マイクロ電解加工
電解加工は，電気分解の原理を利用して工作物を除去する加工法です．放電加工と同じく，機械的な加工法ではないので，高硬度材料の加工が可能です．パルス状の電圧を印加することで微細な形状の加工が行えます． |
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電解加工による微細穴あけ加工 |
| 電解加工により，未だ報告例のない内径5μm未満の微細貫通穴あけ加工を試みた．パルス幅を60nsまで短くすることで，厚さ5μmのステンレス鋼箔に対して入口径4.5μm，出口径4μmの微細穴を加工することができた． 参考文献 参考文献(学内専用)（Precision Engineering，Vol.54, 2018, pp.338-343） |  |  | | 微細穴加工例 | 極小径工具電極 |
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加工穴を利用した微細軸の電解加工 |
| 電解加工による微細軸の製作を試みた．軸加工前の工作物によりあけられた加工穴を有した金属箔を軸加工の工具電極として使用した．厚さ5μmの箔を用いて微細軸加工を行った結果，直径2.5μm，長さ20μmのストレート軸の製作に成功した． 参考文献 参考文献(学内専用)（Procedia CIRP, Vol.113, 2022, pp.432-438） |  | | 微細軸加工例 |
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