主な研究テーマ

直径3μmの極小径超硬合金マイクロ切削工具を製作し，それを用いて加工を試みた．その結果，内径が4μmの微細穴，幅が4μmの微細溝の切削が可能であった．これらは回転切削工具による加工例としては最小径・最小幅のものである．

参考文献 参考文献(学内専用)（Precision Engineering, Vol.35, No.4, 2011, pp.547-553）

超高硬度微細工具を製作し，過去に例のない切削による難削材の微細軸加工を試みた．工具材料にダイヤモンドを用い，超硬合金を切削した．その結果，直径2μmまでの微細軸の加工が可能であることが確認された．

参考文献 参考文献(学内専用)（Precision Engineering, Vol.74, 2022, pp.278-289）

切れ刃の丸み半径を極めて小さくできる単結晶ダイヤモンドバイトとマイクロ切削装置を用い，ナノスケールの超微細軸加工を試みた．その結果，直径500nmまでの軸加工を行うことができた．これは旋削加工による加工例としては最小径の軸加工例である．

参考文献 参考文献(学内専用)（Proceedings of the 9th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM 2017), 2017, 123）

フライス工具を用いた微細軸加工が可能なマイクロターンミリング装置を開発した．断面□18μmの角軸や，微細三角軸，微細十字軸などの加工に成功した．これらは切削による角軸加工例としては最小径のものと思われる．

参考文献 参考文献(学内専用)（Precision Engineering, Vol.44, 2016, pp.81-86）

外径50μmのマイクロバイトを製作し，内径0.15mmの小径黄銅パイプに中ぐり加工を試みた．また，外径25μmのマイクロバイトを用いてパイプ肉厚部分に端面溝入れ加工も試みた．

参考文献 参考文献(学内専用)（CIRP Annals, Vol.60, No.1, 2011, pp.81-84）

製作したマイクロバイトを用い，直径10μm未満の微細軸加工を試みた．その結果，直径3μmまでの軸加工を行うことができた．これは旋削加工による加工例としては最小径のものであると考えられる（当時）．

参考文献 参考文献(学内専用)（Key Engineering Materials, Vols.523-524, 2012, pp.293-298）

超硬合金マイクロバイトを用い，直径1μm未満の微細軸加工を試みた．その結果，直径800nmまでの超微細軸の加工を行うことができた．旋削加工による加工例としては最小径のものであると考えられる（当時）．

参考文献 参考文献(学内専用)（Proceedings of the International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM 2015), 2015, 2104）

（左）直径８μmのエンドミル型工具を製作し，超音波援用切削により文字彫り加工を試みた．（右）直径５μmの極小径ドリルを製作し，微細穴加工を行った．いずれも，切削による手法では世界最小レベルの加工寸法である．

参考
第５回切削加工ドリームコンテスト
第４回切削加工ドリームコンテスト

放電加工により，ボール半径10μmのボールエンドミル形超硬合金工具を製作した．放電加工における電極消耗現象を利用して先端のボール形状を実現した．製作された工具を用いて，黄銅に対して平面切削を試みた．

参考文献（精密工学会誌，Vol.69, No.10, 2003, pp.1449-1453）

切削によりガラスに内径10μmの微細穴を加工した．切込みが微小なので，割れやクラックを生じることなく加工が行えた．また，超音波振動を付加することにより，切削抵抗が減少し工具寿命が向上した．

参考文献 参考文献(学内専用)（Annals of the CIRP, Vol.51, No.1, 2002, pp.339-342）

シリコンに切削による微細穴加工を試みた．直径6μmの工具を用いることにより，内径6.7μmの微細穴の加工が行えた．これは切削による加工例としては世界最小径のものである（当時）．

参考文献 参考文献(学内専用)（Precision Engineering, Vol.26, No.3, 2002, pp.263-268）

微細工具を放電加工により製作し，それを用いて脆性材料であるシリコンに延性モード切削を試みた．微細溝を加工した結果，溝入口のエッジ部にはクラックが観察されず，延性モードで切削が行われたことが確認された．

参考文献（精密工学会誌，Vol.67, No.1, 2001, pp.157-161）

直径10μmの切削工具を用いて，黄銅に微細穴加工と微細溝加工を行った．穴加工においては，穴あけ深さ50μmまでの加工が可能であった．穴あけ深さ20μmの条件では，工具折損までに350穴以上の加工が行えた．

参考文献（Proceedings of The 6th International Conference on Progress of Machining Technology, 2002, pp.213-217）

超高硬度材料であるダイヤモンドとCBNを工具材料に用い，直径15μmの極小径ドリルを製作した．ダイヤモンドドリルは，超硬合金ドリルに比べて切削抵抗の上昇が少なく，刃先摩耗量も小さかった．

参考文献（砥粒加工学会誌，Vol.53, No.4, 2009, pp.226-229）

極小径半月形ドリルの刃部形状を改善することにより，工具寿命の伸長を図った．刃部断面を半月形状から扇形形状に変更したり，刃物角を90°より小さくすることにより長寿命化が達成できた．

参考文献（砥粒加工学会誌，Vol.52, No.2, 2008, pp.106-109）

微細穴出口側のエッジ仕上げ用超硬マイクロ切削工具を放電加工により製作し，面取り加工やバリ取り加工を試みた．その結果，内径0.15mmまでの微細穴のエッジ仕上げに成功した．

参考文献 参考文献(学内専用)（Precision Engineering, Vol.37, No.2, 2013, pp.248-254）

直径10μmの超硬合金微細軸を放電加工により製作し，その強度試験を行った．軸強度は仕上げ加工における放電エネルギが低くなるにつれて向上する傾向がみられたが，放電エネルギをさらに低くすると逆に低下した．この結果をもとに，長寿命の極小径切削工具の製作を試みた．

参考文献（砥粒加工学会誌，Vol.56, No.6, 2012, pp.395-399）