８号館中央のエレベータまたは階段で地下へ降りたところにあります。
クリーンルームの構成は右図のようになっています。
セキュリティおよび安全の確保の観点から、クリーンルームの入退室において、
指静脈認証による入室・退室チェックを行っており、最初の入室時に登録が必要です。
クリーンルームを初めて利用される方は、入退室管理(SEE)システム登録票に必要事項を記入の上、
事務局までご連絡ください。登録の予約時間を決めておけば、約５分程度で登録が完了します。
クリーンルームでは、クリーン度を保つ(粒子を持ち込まない）ためや、閉じられた空間での 安全確保のためなどで、以下のルールを遵守していただく必要があります。クリーンルームへ入室する前に、 必ず目を通しておいてください。ルールが守られていない場合には入室禁止措置をとる場合があります。 （以下の下線のある青字をクリックし、リンク先を確認してください）
・課金の方式
以下の２種類の課金を設定しています。
| 料金の種類 | 費用充当対象 | 負担費用 |
|---|---|---|
| 1. 基本料金 | 主に手袋・マスクなどの消耗品費 | １００円／日・人 |
| 2. 装置使用料 | 主に材料費（ガスのみ）、ユーティリティ費、必須保守費 | 下表 |
| 分類 番号 | 機器分類 | 機器 番号 | 機器名 | 装置使用料 (円/時間） |
|---|---|---|---|---|
| 1 | フォトリソグラフィー装置 | 1-1 | MIKASA アライナ | 130 |
| 1-2 | 両面マスクアライナ | 230 | ||
| 1-3 | キヤノン アライナ | 100 | ||
| 1-4 | 有機ドラフト | 140 | ||
| 2 | 成膜装置 | 2-1 | RFスパッタ装置 | 560 |
| 2-2 | 電子ビーム蒸着装置 | 100 | ||
| 2-3 | 実験用熱蒸着装置 | 100 | ||
| 2-4 | TEOS-CVD装置 | 720 | ||
| 2-5 | 卓上スパッタ装置 | 320 | ||
| 3 | ドライエッチング装置 | 3-1 | Siディープ エッチング装置 | 1,650 |
| 3-2 | 化合物半導体エッチング装置 | 8,180 | ||
| 3-3 | 簡易プラズマ処理装置 | 680 | ||
| 4 | 洗浄・ ウエットエッチング装置 | 4-1 | 酸ドラフト | 250 |
| 5 | 熱処理 | |||
| 5-1 | 急速アニール炉 | 450 | ||
| 5-2 | 小型拡散炉 | 100 | ||
| 6 | 評価装置 | 6-1 | 高分解能走査電子顕微鏡 | 750 |
| 6-2 | 段差膜厚計 | 490 | ||
| 6-3 | レーザー顕微鏡 | 100 | ||
| 6-4 | 卓上SEM（EDX) | 130 | ||
| 7 | 分析装置 | 7-1 | X線光電子分光装置 | 140 |
| 7-2 | 高精度X線回析装置 | 220 |
・徴収方法
利用者の支払い責任者宛に、各月の基本料金および装置使用料をお知らせし、３ヶ月ごとに費用振替で精算いたします。
・修理費について
ほとんどの装置で修理費は利用料金に含まれておりません。
そのため原則として、経年劣化による故障は、利用者の使用時間比率に応じて修理費用を負担していただきます。
操作ミスによる故障は、原因となった使用者（の所属）にて修理費を負担いただきます。
＜ご参考＞
・クリーンルームおよびクリーンルーム内の機器・装置を維持・運営するためには、多額の費用が必要です。
具体的には、クリーンルーム維持のための空調関連設備維持費、装置利用のための材料費、ユーティリティ維持運営費、
装置の修理やオーバーホールなどの維持費、机や棚などの備品費、クリーンウエア、手袋、マスクなどの消耗品費などが
必要です。また、将来的には、新規機器・装置の導入の費用も考えていく必要があります。
基本的に、これらの費用は利用者による負担となります。
・現在は、2019年3月までの文部科学省「科学技術試験研究委託費 先端研究基盤共用促進事業（新たな共用システム導入
支援プログラム）」による共用化支援費用の活用により、利用者負担が軽減された課金となっております。
年度ごとのクリーンルームの利用状況を以下に示します