評価装置
装置名：電界放出型高分解能電子顕微鏡
- 製品名：S-5200
- メーカー：日立ハイテクノロジーズ
＜装置の概要＞
- 冷陰極電界放出型電子銃を搭載した高分解能電子顕微鏡です
＜装置の仕様＞
| 分解能 | 0.5nm(30kV)/1.8nm(1kV) |
|---|---|
| 倍率 | 60～200万倍 |
| 最大試料 サイズ | 5.0mm×9.5mm×3.5mmH 2.0mm×12.0mm×6.5mmH (断面ホルダ使用時) |
装置名：段差膜厚計
- 製品名：Dektak XT-S
- メーカー：ブルカー
＜装置の概要＞
- 先端に微小なダイヤモンドを備えた触針で試料表面を走査することで、 試料表面に形成された薄膜の段差（膜厚）や形状、粗さなどを評価する測定器です
＜装置の仕様＞
| 段差測定再現性 | 1σ=0.5nm以下 |
|---|---|
| ステージ | φ150mm 手動XYθステージ |
装置名：レーザー顕微鏡
- 製品名：VK9500
- メーカー：キーエンス
＜装置の概要＞
- 超深度表面形状測定ができるレーザ顕微鏡です
- 倍率はモニタ上で200倍、400倍、1000倍、3000倍 で最小読取は0.01μmです
＜装置の仕様＞
| レーザー光源 | 波長 408nm 出力 0.9mW クラス2 |
|---|---|
| 測定範囲 | 縦 105μm～1109μm 横 139μm～1479μm 高さ 7mm |
| 最小分解能 | 0.01μm |
| ステージ | 電動XYステージ |
装置名：卓上ＳＥＭ（ＥＤＸ）
- 製品名：TM3030Plus
- メーカー：日立ハイテクノロジーズ
＜装置の概要＞
- 高感度低真空二次電子検出器を搭載し、低真空雰囲気下で二次電子像が観察できます
- 同一視野の二次電子像と反射電子像を合成して表示できるので、試料表面の微細形状と組成情報を同時に観察できます
- EDX(ｴﾈﾙｷﾞｰ分散型X線分析装置）搭載で、定性分析や、元素マッピングができます。
＜装置の仕様＞
| 倍率 | 15～60,000倍 |
|---|---|
| 加速電圧 | 5kV/15kV |
| 最大試料寸法 | 70mm径 |
