機能表面加工学研究室
Surface Functionalization Processing Lab.
紫外光照射による光化学反応を応用した鏡面加工
- 高速UVアシスト固定砥粒研磨によるダイヤモンドの超高能率鏡面加工
- UVアシスト定圧研削による次世代半導体材料の高能率鏡面加工
研削砥石に関する研究
- レーザースペックル法による砥石作業面診断システムの開発
微細テクスチャリングによる表面機能創成
- Micro Ball Forming (MBF) による表面機能創成
- ナノ秒レーザ加工による微細溝加工
Super Processing Machine (SPC) の開発