機能表面加工学研究室

紫外光照射による光化学反応を応用した鏡面加工

• 高速UVアシスト固定砥粒研磨によるダイヤモンドの超高能率鏡面加工
• UVアシスト定圧研削による次世代半導体材料の高能率鏡面加工

微細テクスチャリングによる表面機能創成

• Micro Ball Forming (MBF) による表面機能創成
• ナノ秒レーザ加工による微細溝加工

Super Processing Machine (SPC) の開発

• 各種加工ユニットの開発