【教員】
教授	野田 実
教授	山下 馨
助教	Carl Frederik Werner
【博士前期課程大学院生】
M2	清田 元一郎	高感度化座屈ダイアフラム上圧電MEMS超音波センサのパルス応答振動モードに関する研究
M2	西川 顕史	座屈ダイアフラム上圧電MEMSデバイスの構造的変換効率向上を目指した作製プロセスに関する研究
M2	藤井 翔太	座屈ダイアフラム構造を利用した圧電MEMSデバイスの設計および評価方法に関する研究
M2	藤原 悠希	不揮発性アナログメモリ応用を目指したミストCVD法Hf1-xZrxO2強誘電体薄膜に関する研究
M1	衣 正欣
M1	紙谷 虎太郎
M1	末高 知弥
M1	高橋 悠矢
M1	出井 航
M1	吉田 琢真
【学部生】
B4	板井 大地	逆圧電効果による応力制御ダイアフラム型超音波センサのパルス応答振動モードに関する研究
B4	遠藤 凌摩	座屈ダイアフラム上MEMSセンサ高感度化のための圧電層負荷低減プロセスに関する研究
B4	木下 あさひ	パーキンソン病原因物質検出カンチレバーセンサ高感度化用新規構造・プロセス適用に関する研究
B4	近藤 里穂	MEMSセンサ用圧電ダイアフラムの座屈撓みと強誘電的分極保持特性に関する研究
B4	田中 将	HfZrO2薄膜の強誘電性の発現とその劣化に関する研究
B4	山本 あゆみ	パーキンソン病原因物質検出に向けた物理センサ基盤技術に関する研究