フォトリソグラフィー装置
装置名：MIKASAアライナ
- 製品名：M-1S特型
- メーカー：ミカサ
＜装置の概要＞
- コンタクト方式のアライナ
＜装置の仕様＞
| ウエハサイズ | 4インチまで |
|---|
装置名：両面マスクアライナ
- 製品名：PEM-800
- メーカー：ユニオン光学
＜装置の概要＞
- ウエハの表面と裏面にアライメント光学系を配置
- ウエハ裏面のパターンに合わせて、表面にアライメントできます。
＜装置の仕様＞
| マスクサイズ | 5インチまで |
|---|---|
| ウエハサイズ | 4インチまで |
| 露光モード | コンタクト N2吹上げコンタクト |
| 解像度 | 3μmL/S （N2吹上げ時） |
装置名：キヤノンアライナ
- 製品名：PLA-501S
- メーカー：CANON
＜装置の概要＞
- プロキシミティ方式のマスクアライナです。
- アライメント時のセパレーション量が可変です。
＜装置の仕様＞
| マスクサイズ | 5インチまで |
|---|---|
| ウエハサイズ | 3インチまで |
| 露光モード | コンタクト プロキシミティ |
