分析装置
装置名：Ｘ線光電子分光装置
- 製品名：JPS-9010MX
- メーカー：日本電子
＜装置の概要＞
- 高速イオン銃（XP-HSIG3)を標準装備しており、XPS測定とイオン銃によるエッチングを交互に行うことにより、 試料の深さ方向の分析が可能です
- ３～100nm/min（SiO2換算）のエッチング速度で迅速な深さ方向分析ができます
装置名：高精度Ｘ線回折装置
- 製品名：D8 Discover
- メーカー：ブルカー
＜装置の概要＞
- Ｘ線を物質に入射して得られる回折強度分布を測定して 化合物の結晶 構造の同定・定量を行う分析装置です
＜装置の仕様＞
| Ｘ線発生部 | セラミックス封入型 Cu、 Cr 管球（最大 3kW） |
|---|---|
| 入射光学系 | モノクロメーター 金属コリメータ 全反射コリメータ |
| 検出器 | 2 次元 PSPC |
| ステージ | セントリック ユーレリアン クレードルステージ |
